신규 장비 개발 및 제조
HEB는 전력 반도체용 6인치 및 8인치 전공정 장비를 개발·제조하며, SBD, FRD, MOSFET, IGBT 및 HEMT 소자 생산을 지원합니다. 또한 Si, SiC, GaN 소재에 대응할 수 있습니다.
Diffusion Furnace
Dry Etcher
PECVD
제조 공정 및 품질 관리
HEB는 첨단 자동화 조립 기술과 엄격한 품질 관리 시스템을 적용하여, 모든 생산 장비가 출하 전 종합적인 스트레스 테스트와 정밀 교정을 거치도록 관리하고 있습니다.
또한 전 생애주기 협업 개발 체계를 통해 제조 주기를 최적화하고, 고출력 전력 반도체 생산 라인의 신뢰성을 지속적으로 향상시키고 있습니다.
시스템 호환성 및 턴키 통합
HEB는 풍부한 턴키 통합 경험을 바탕으로 공정 기획부터 장비 설치 및 시운전까지 아우르는 원스톱 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 신규 공정의 양산 안정화 기간을 효과적으로 단축할 수 있습니다.